输入语句 Grid=“@tdr@”,指的是输入前面的网格文件 这个网格文件可以是Sprocess产生,也可以是Sde产生。网格文件包含了器件尺寸和掺杂等重要信息的文件。比如前面Sprocess产生的n5_fps.tdr文件，Grid="@tdr@"这条语句就可以把它调过来进行仿真。当然这条语句也可以改成Grid=“n5_fps.tdr"仿真，但是每次调用的只是n5节点下的文件， Grid=”@tdr@"可以自动调用前面所产生的网格文件，这在分组比较多的程序中占有优势. Sentaurus Device 期望至少有一个输入文件来定义器件结构和字段值/区域值(field values)，这些值是器件内部强制性的掺杂剖面分布和可选的机械应力分布。另外还可以在声明材料属性和物理模型参数的位置执行可选参数文件。 网格文件(TDR格式)包含以下类型的信息： – 器件几何图形包括区域(region)、材料规格、电极和网格定义(包括所有离散网格点(也称为节点或顶点)的位置) – 器件中的字段值(field values)，例如，在给定网格上的器件内部的掺杂剖面分布。 网格文件可以表示1D、2D或3D器件尺寸。它通常是由网格引擎Sentaurus mesh生成。文件扩展名.tdr表示文件为TDR格式，这是Sentaurus Mesh生成的默认格式。 可选的Parameter文件包括材料参数规格和用户定义的模型参数。此文件中指定的参数值将取代Sentaurus Device内置默认值。Sentaurus器件参数文件常用的扩展名是.par。

输出语句 Plot= “@tdrdat@”, 用于Svisual或TecplotSV中查看结构，如n8_des.tdr。

输出语句Current="@plot@"用于在Inspect中查看曲线，如n8_des.plt。

输出语句Output=“@log@”.log表示日志文件，gjob用于监控仿真从开始到运行结束，加上这一句，就可以双击节点查看运行的情况。 Sentaurus器件生成多个输出文件: – 包含电极名称和产生的电压、电流、电荷、时间、温度等的文件，其名称在Current语句中指明。 – 包含空间分布解决方案变量及其导数的文件，其名称在plot语句中声明。 – 一个协议文件，其名称在Output语句中指定。 – 对于Current 文件，Sentaurus Device总是添加_des.plt扩展名(如果没有显式指定)到实际的文件名，例如n8_des.plt. – Plot文件规范指明了最终空间分布场(如计算变量(载流子密度、净电势和晶格温度)及其导数)应在模拟结束时存储的文件名。生成的Plot文件格式取决于输入Grid文件的格式。如果Grid文件是TDR格式，Sentaurus Device也会生成TDR格式的plot输出。对于Plot文件，Sentaurus Device总是将扩展名_des 添加到实际的文件名，如n8_des.tdr – Output文件规范指明Sentaurus Device将在device模拟器件生成输出放在何处。Sentaurus Device始终将扩展名_des.log(如果未明确指定)添加到实际文件名中，如n8_des.log.