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飞行时间二次离子质谱仪(简称TOF-SIMS),使用一次脉冲离子入射固体材料表面,通过表面激发出的二次离子的飞行时间测量其质量, 以表征材料表面的元素成分(H~U)、同位素、分子结构、分子键接等信息。 TOF-SIMS可以分析所有的导体,半导体,绝缘材料; TOF-SIMS的分析深度2nm左右,横向空间分辨率可达70nm; 能鉴别高质量数的有机大分子;探测灵敏度很高,可以达到ppb~ppm量级;结合不同溅射离子源,TOF-SIMS可进行2D和3D成像来表征成分的分布;对于材料表面成分及分布,表面多层结构/镀膜成分,表面异物残留(污染物、颗粒物、腐蚀物等),表面痕量掺杂,表面改性,表面缺陷(划痕、凸起等),有机和无机半导体器件等有很好的表征能力。 尤其近几年TOF-SIMS在矿物、纳米材料、聚合物材料、生物医药、能源电池材料、有机半导体等领域都有很好的应用。 本次课程将通过基本原理、技术特点、应用案例等3个方面深入浅出带你更好地了解什么是——飞行时间二次离子质谱仪(简称TOF-SIMS)。 课程安排 (1)TOF-SIMS基本原理介绍 (2)TOF-SIMS主要技术特点 (3)TOF-SIMS应用案例 讲师介绍 丁志琴,PHI-CHINA高德英特(北京)科技有限公司应用工程师。2017年-2020年于西北大学化学与材料科学学院获得硕士学位,于2020年7月加入 PHI-CHINA高德英特(北京)科技有限公司。 课程剪影 TOF-SIMS基本原理: TOF-SIMS质谱图: TOF-SIMS 二维Mapping图: TOF-SIMS 深度剖析以及3D重构: 上课时间 6月3号(周四),晚上19:30 课程参与方式 B站直播讲座 UP主:指南针学院 关注我们即可在上课时间观看公开课讲座。 福利抽奖 讲座开始后当晚举行线上幸运抽奖, 具体参与规则详见直播中主持人解释。 课程联系小师妹 本次课程提供回放视频! 更多课程详情欢迎联系小研师妹(17328643177) |
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