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(1)国家重点研发计划课题,路面覆盖物和水膜厚度敏感元件及传感器,2022/12-2025/11,217万,在研,负责人。(2)国家自然科学基金面上项目, 基于折纸结构的三维高性能纵向驱动RF MEMS器件设计理论与实验研究,2022/01-2025/12,60万,在研,负责人。(3)国家自然科学基金面上项目,基于典型MEMS膜/梁结构的RF MEMS柔性器件弯曲特性模型理论与实验研究,2018/01-2021/12,63万,结题,负责人。(4)国家自然科学基金青年项目,基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究,2012/01-2014/12,25万,结题,负责人。(5)科技部863项目,水陆交通安全传感器及系统,2011/04-2014/03,862万,结题,参与(子课题负责人,344.8万)。 |
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