真空常用数据及单位换算

2024-05-28 14:41| 来源: 网络整理| 查看: 265

1. 真空区域划分

真空区域压强范围托(Torr)帕(Pa)低真空760~10101325～1333中真空10~10-31333～1.33×10-1高真空10-3~10-81.33×10-1～10-6超高真空10-8~10-1210-6～10-10极高真空＜10-12＜10-10

2. 流速与漏率

Pa·l/smbar·l/sTorr·l/satm·cm3/ssccm1Pa·l/s1107.59.8759.21 mbar·l/s0.110.750.9875.921 Torr·l/s0.1331.3311.3278.91 atm·cm3/s0.1011.010.761601 sccm1.69×10-31.69×10-21.27×10-21.67×10-21

3. 抽气速率单位换算表

单位立方米/秒(m3/s)升/秒(L/s)立方米/小时立方英尺/分1立方米/秒(1m3/s)1100036002118.881升/秒(1L/s)10-313.62.1191立方米/小时(1m3/h)2.78×10-40.27810.591立方英尺/分(1cft/min)4.72×10-40.471.691单位立方米/秒(m3/s)升/秒(L/s)立方米/小时立方英尺/分1立方米/秒(1m3/s)1100036002118.881升/秒(1L/s)10-313.62.1191立方米/小时(1m3/h)2.78×10-40.27810.591立方英尺/分(1cft/min)4.72×10-40.471.691

4. 常用压强单位换算表

帕Pa托Torr微米汞柱μmHg微巴μbar毫巴mbar大气压atm工程大气压am英寸汞柱inHg磅/英寸2lb/in21 Pa17.5×10-37.51010-29.86923×10-61.0197×1052.953×10-41.450×10-41 Torr133.3211031333.21.33321.31579×10-31.3595×10-33.937×10-21.934×10-21 μmHg0.1333210-311.33321.3332×10-31.31579×10-61.3595×10-63.937×10-51.934×10-51 μbar10-17.5×10-47.5×10-1110-39.86923×10-71.0197×10-62.953×10-51.450×10-51 mbar1027.5×10-17.5×10210319.86923×10-41.0197×10-32.953×10-21.450×10-21 atm101325760760×1031013.25×1031013.2511.033329.92114.6961 am98066.3735.56735.56×103980663980663×10-30.967839128.95914.2231 inHg338625.425.4×1033.386×10433.863.342×10-23.453×10-214.912×10-11 lb/in2689551.71551.715×1036.895×10468.956.805×10-27.031×10-22.0861帕Pa托Torr微米汞柱μmHg微巴μbar毫巴mbar大气压atm工程大气压am英寸汞柱inHg磅/英寸2lb/in21 Pa17.5×10-37.51010-29.86923×10-61.0197×1052.953×10-41.450×10-41 Torr133.3211031333.21.33321.31579×10-31.3595×10-33.937×10-21.934×10-21 μmHg0.1333210-311.33321.3332×10-31.31579×10-61.3595×10-63.937×10-51.934×10-51 μbar10-17.5×10-47.5×10-1110-39.86923×

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