源表（Source Meter Unit， SMU）广泛用于半导体器件、材料、医疗、发光器件与光通信等行业，测量器件的伏安（I-V）特性曲线、绝缘材料的电阻值（电阻率）、电容的绝缘电阻（漏电流）、光电器件的暗电流或者L-I-V等。

     源表的名称已经清晰的告诉我们，它包含了高精度电源输出和测量， 但它仅仅是电源和万用表的简单拼凑吗？ 为了简要说明这个问题， 我以下列出了源表的几个典型的应用场景：

  在测量绝缘材料的电阻值（GΩ/TΩ）或 二极管的反向漏电流时，通常给被测件DUT施加电压激励，并测量对应的电流；

在测量常规小电阻， 或者驱动LED发光二极管时，通常给DUT施加电流激励，测量对应的电压值；

 测量电容器、锂电池等具备储能特性器件时，会对其进行充放电的同时， 连续记录电压和电流。

    通常源表都具备电压源Vs、电流源Is、电流源IM、电压表VM四种功能，而且能够任意搭配激励源和测量功能，按照被测DUT特征选择对应的模式。 如下图所示，  

     与直流电源称输出端子V+、V-不同，源表SMU通常将源的输出端子称为High Force、Lower Force。因此，源和测量的组合有： VFIM、VFVM、IFVM、IFIM （V/I激励F + V/I测量M）。

    在电压和电流形成的直角坐标系中，按照电压V的正负和电流I的正负，可以得到上图 V/I的四个象限，大部分源表可以工作在任意的象限。   

   高性能精密源表，内置波形发生器功能，配合强大的触发机制、可轻松实现直流、脉冲、扫描以及任意自定义波形激励。

     需要注意的是，源表SMU的脉冲电压和电流最小脉冲宽度、 上升/下降沿的典型指标，以 B2900系列源表为例， 可以到达 10A/100uS级的电流脉冲、 或 210V/1mS级的电压脉冲；  而PZ2121A 高速源表可以输出10A/10uS的电流脉冲和高达15MSa/s采样速率。

     源表的精度固然极高， 但在脉冲激励或IV扫描时，如果不明确被测件的特性， 就很有可能测量结果与真实值存在非常大的偏差。如下图所示，当测量点为蓝色圆圈  区域时，测量结果偏离实际响应点； 响应随机波动或存在噪声，需要增大测量积分时间消去波动或噪声影响。

     因此，精确测量出被测件DUT在激励下的电压和电流响应波形是非常重要，然而借助传统示波器来观察源表测量领域的电压或电流波形， 但由于示波器的分辨率、灵敏度、噪声等问题， 这种努力往往徒劳！ 

    是德科技提供B2900系列单/双通道台式源表，PZ2100系列20通道的模块化源表，以及 B1500 半导体参数分析等面向不同应用的源表平台。                  

   最后，除了上述硬件性能的差异，软件对很多工程师来说也非常重要，如半导体器件测试时，您是否希望使用与国际最顶尖的芯片设计公司是一样的软件平台？

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