SEM怎么制样

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SEM怎么制样

2023-09-05 17:42| 来源: 网络整理| 查看: 265

②粉末样品

先将导电胶带粘在样品台上,然后将粉末样品均匀的撒在导电胶上面,随后用压缩空气(或者洗耳球)吹去没有黏住的样品,能很好的防止未被黏住的样品污染设备;切记粘样品时不能挤压样品,主要是避免挤压过程对样品表面的微观形貌造成破坏。同样的,对于不导电或者导电性差的样品,需要进行镀膜处理后再放入扫描电镜中观察;而对于导电样品,可以直接放入扫描电镜中观察。对于粉末样品,一般为了提高测试效率,一个样品台上会同时制备多个样品,但需要保证样品之间不会互相污染,位置不被混淆。

③液体样品

液体样品制样时,一般需要借用薄铜片作为载体。首先将导电胶粘在样品台上,然后将干净的薄铜片粘在导电胶上,采用少量多次的方法把液体样品滴在铜片上,等待溶剂完全挥发干燥后就可以进行喷镀处理和扫描电镜测试。对于团聚十分严重的粉末样品,也会将粉末混合在易挥发溶剂(如乙醇、超纯水、环己烷等)中配成悬浊液。不过值得注意的是选择的溶剂不能对要观察的样品有影响,否则会改变样品的初始形貌。

④生物样品

生物样品性质较为特殊,一般都具有含水量高、质地柔软、导电性差、对热和电子束等敏感等特性。所以生物样品的制样过程较为复杂,主要包括取样、清洗、固定、脱水、干燥、粘样、导电处理几个步骤。

三、注意事项

为了得到无损、真实而清晰的表面形貌结构,在扫描电子显微镜样品制备的全过程中都必须十分小心,这里分享几个在SEM制样过程中需要特别注意的事:

(1)在样品制备时,应该把被观察面充分的暴露出来,同时需要保证被观察面无污染、无皱缩、无明显的人工损伤以及附加结构。

(2)在不导电材料表面镀重金属(金、铂、钯等)时,镀层“厚度”即要大于等于入射电子束进入样品的扩散深度,又不能掩盖样品本身的凹凸形貌结构。例如镀Au膜,一般在10万倍左右就能看见金颗粒,所以镀Au膜厚度尽量控制在10 nm以下,如果镀10 nm的导电膜导电性能仍然没有得到改善,继续镀膜也没有意义。

(3)通常情况下我们都选择镀Au膜,但是需要对样品进行严格的EDS定量分析,则不能镀金属膜,因为金属膜对X射线有较强的吸收,对定量分析结果影响较大。

(4)粉末样品的厚度要均匀,量不要太多,否则容易造成喷金样品的底层部分导电性能不佳。

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