美国FEI Company于1997年由美国FEI公司与荷兰皇家飞利浦公司电子光学部合并而成，是一家研发、生产、经营多种电子显微分析仪器的业内领先企业。

成就 凭借过去 60 年的技术创新历史和业内领导地位， FEI 成为了透射电子显微镜 (TEM)、 扫描电子显微镜 (SEM)、整合了 SEM 与聚焦离子束 (FIB) 的 DualBeam™ 仪器和 用于精密高速切割与加工的专用聚焦离子束仪器的 性能标准。 FEI 成像系统在三维 表征、分析和修改/原型设计领域实现了 亚埃（埃：十分之一纳米）级分辨率。 国外服务 FEI NanoPorts 在中国上海，美国俄勒冈州波特兰，日本东京，荷兰埃因霍温和捷克均有设点，它们都是卓越中心。在这里，众多科学家、研究者以及工程师 都可在 FEI 应用专家的直接帮助下体验世界级显微分辨率。 本公司有近 1800 名员工，已在全球超过 50 个国家或地区开展了销售和服务业务。

FEI当之无愧是全球最顶尖的纳米级研究、探索和设计的引领者，其产品包括：透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）以及SEM/FIB“双束”显微镜等，可为诸多行业的研发、品控或监管提供全面的纳米与原子尺度表征、分析、加工及原型设计工具，这些行业横跨：材料科学、纳米科学技术、生物工程、生命科学、医药、半导体、数据存储、自然资源等等众多领域。

凭借过去 60 多年的技术创新历史和业界领导地位， FEI 的TEM、 SEM、 DualBeamTM仪器和专用FIB仪器的性能参数指标成为了业界同类产品的标杆。

FEI NanoPorts 在日本东京、美国俄勒冈州波特兰、荷兰埃因霍温和中国上海均有设点，它们都是卓越的纳米港中心。在这里，众多科学家、研究者以及工程师都可在 FEI 应用专家的直接帮助下体验世界级显微分辨率。本公司有近 2200 名员工（其中超过400人从事R&D），已在全球超过 60 个国家或地区开展了产品销售和技术服务业务。

公司历史 最初的FEI公司由L.W. Swanson博士, N.A. Martin先生，L. Swenson先生，和J. Orloff博士于1971年创建的。FEI公司1981年创始液态金属离子束源，使其在半导体行业维修和缺陷分析面具方面得以运用。目前的FEI公司是由1997年最初的FEI公司和Philips Electron Optics的合并，以及1999年收购离子束Micrion公司的组合。

FEI发展历程

·1949年 Philips Electron Optics（飞利浦电子光学）成立，发布了全球第一台商用TEM。

·1958年 飞利浦电子光学推出的EM200突破了10Å的TEM分辨率。

·1966年 飞利浦电子光学交付固态分辨率5Å的TEM。

·1971年 FEI成立，主要生产聚焦离子束产品，并致力于提供用于场发射电子枪的高纯度、定向单晶体材料。

·1975年 飞利浦电子光学推出EM400 TEM，成为现代透射电镜发展的基础。

·1977年 飞利浦电子光学发布全球第一台场发射TEM。出台高分辨率SEM。

·1981年 FEI研制出液体金属离子源（LMI）。

·1982年 FEI第一个LMI聚焦离子束镜筒交付使用。

·1983年 FEI第一个静电场聚焦离子束镜筒交付使用。Micrion成立，它专注于研制用于光罩修补的离子束系统。

·1985年 Micrion第一台聚焦离子束系统交付使用。

·1986年 飞利浦电子光学推出计算机控制TEM系统。

·1989年 ElectroScan推出全球第一台环境扫描电镜（ESEM）。FEI第一台完整的聚焦离子束（FIB）工作站交付使用。

·1990年 飞利浦电子光学发布全球第一台PC控制的扫描电镜XL系列。

·1993年 交付一体化集成TecnaiTM TEM。FEI同飞利浦电子光学联合发布第一台双束DualBeamTM（FIB/SEM）工作站。

·1996年 FEI交付第5000只LMI源。飞利浦电子光学收购ElectroScan及环境扫描电镜（ESEM）技术。飞利浦电子光学收购位于捷克共和国布尔诺的Delmi公司。

·1997年 FEI与飞利浦电子光学合并为现今的FEI公司。交付第一台嵌入式晶圆制程DualBeamTM系统。

·1998年 发布PC控制的一体化集成TEM（TecnaiTM）。推出全球第一台应用于自动缺陷分析检测的DualBeamTM。

·1999年 FEI兼并Micrion（聚焦离子束产品）。

·2000年 推出第一台小样品DualBeamTM系统。

·2001年 推出实验室专用DualBeamTM系统。发布第一台配有单色器的TEM。

·2004年 使用配有单色器和球差矫正器的透射电镜200KV TecnaiTM，突破了透射电镜分辨率1Å的极限。

·2005年 推出全球功能最强大的商用透射电镜TitanTM 80-300KV（S/TEM），其分辨率可达亚埃级。

·2006年 第一台美国能源部专用带像差矫正透射电镜（TEAM）交付，分辨率达到0.5Å。

·2008年 发布一款极高分辨率的扫描电镜Magellan XHR,其在低束流（低射束能量）模式下可达亚纳米级分辨率。

FEI（中国） FEI（中国）包括以下办事机构： ·FEI香港有限公司：中国（含香港和澳门）运营中心 ·上海办事处：东区销售及售后服务中心，全国总办事处 ·北京办事处：北区销售及售后服务中心 ·广州联络处：南区销售及售后服务中心 ·成都联络处：西区销售及售后服务中心 ·上海纳米港：提供参观及技术交流服务 ·其他服务点：除以上之外，在东莞、武汉、沈阳和大连设有售后服务点。   FEI（中国）有超过70名员工，其中60%以上是应用技术专家及售后服务工程师，他们认真负责的服务态度及其优良的技术水平在业界同行中卓尔不群。   FEI（中国）在国内定期和不定期地举办各类用户会议、技术交流会、讲座、专题培训等学术活动，同时大力支持中国物理学会电子显微镜分会以及其他相关学术社团开展的学术活动。

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