在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、0D参数。

对样品的几点要求；

1. 样品厚度：白光干涉仪的测量精度受到样品厚度的影响，一般要求样品厚度在几纳米至几百微米范围内，过厚或过薄的样品对测量精度都会产生较大的影响。

2. 样品透明度：白光干涉仪可测量的透明材料的折射率与样品的透光性相关，要求样品对白光具有一定的透光性，否则可能无法进行测量。

3. 样品净度：样品表面的干净程度对白光干涉仪的测量精度也有着较大的影响，必须保证样品表面干净并且不会出现划痕、斑点等对测量结果产生影响的污渍。

4. 样品几何形状：样品的几何形状也对白光干涉仪的测量精度产生一定的影响，可测量的样品形状要求比较简单，最好能够保持平整且不发生变形。

在进行白光干涉仪的样品测量时，需要依据所测量的样品特性，合理选择样品的净度、数量及厚度。同时，在实践中还需要注意避免光路干扰、保证样品的平整性等因素，以确保测量的准确性和可靠性。

白光干涉仪的优点：

白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

以上就是关于白光干涉仪的相关小知识，希望可以帮到有需要的小伙伴，铄思百平台提供各类科研测试服务，期待您的联系。

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