一种高致密度PZT靶材及其制备方法专利检索

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一种高致密度PZT靶材及其制备方法专利检索

2024-07-05 01:31| 来源: 网络整理| 查看: 265

1.一种高致密度PZT靶材的制备方法,其特征在于,包括:制备PZT瓷料;将去离子水、分散剂与所述PZT瓷料的混合浆料球磨后,加入粘结剂,注入模具,脱模,将得到的生坯样本干燥,得到相对密度大于50%的生坯;将所述生坯排胶处理后,进行埋铅烧结;优选地,埋铅烧结为将排胶处理后的所述生坯置于烧结炉内,在空气气氛下以3-5℃/min的速率升温至1200-1300℃,保温1-4h。2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,排胶处理为:将所述生坯置于排胶设备中,在空气气氛下以0.5-1℃/min的速率升温至400-750℃,保温4-6h。3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述PZT瓷料中锆钛摩尔比:Zr/Ti=0.9-19;优选地,所述PZT瓷料中锆钛摩尔比:Zr/Ti=0.92,1,1.08,5.67或19。4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,注入压力为0.08-0.15MPa;优选地,所述模具为多孔模具,更优选地,所述模具为多孔石膏模具。5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,干燥为:将所述生坯样本于20-30℃下干燥2.5-3.5天后,在58-65℃至少干燥24h;优选地,干燥为:将所述生坯样本于20-30℃下干燥3天后,在60℃干燥24h。6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述去离子水的加入量为所述PZT瓷料的20-30wt%。7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述分散剂为聚丙烯酸铵;优选地,所述分散剂的加入量为所述PZT瓷料的0.5-1.5wt%。8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述球磨采用砂磨机球磨,球磨的转速为2000-2500r/min;优选地,球磨的介质为氧化锆球;优选地,球磨采用的研磨球的粒径为0.25-0.35mm;优选地,球磨后的所述PZT瓷料的粒径≤200μm。9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述粘结剂为聚乙烯醇;优选地,所述粘结剂的加入量为所述PZT瓷料的0.5-5wt%;优选地,加入粘结剂后以120r/min的速度搅拌至少30min。10.由权利要求1-9任意一项所述的制备方法制得的高致密度PZT靶材。



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