材料人要知道的

XPS

分析！

在复试面试中，难免会被老师问到一些专业性问题，尤其是材料

专业。有关材料表征的问题更有可能被提及。除此之外，以后在课题

中，也会遇到这些需要学习，那么今天就来给大家简单的讲讲有关

XPS

的分析吧（同时有软件如何使用的步骤噢！），快来看看吧

~

！

01 

•

什么是

XPS

呢？

X

射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面

的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态，因此，在化学、材料

科学及表面科学中得以广泛地应用。

•

X

射线光电子能谱分析的基本原理

电子能谱分析是一种研究物质表层元素组成与离子状态的表面分

析技术，其基本原理是用单色射线照射样品，使样品中原子或分子的

电子受激发射，然后测量这些电子的能量分布。通过与已知元素的原

子或离子的不同壳层的电子的能量相比较，就可确定未知样品表层中

原子或离子的组成和状态。

02

•

如何使用呢？

XPS

数据分析纵坐标：

Intensity(cps)

横坐标：

bindingenergy

（

eV

）

除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，

确定样品有何种元素，再对该元素进行窄扫。该元素的不同键接方式

都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰（分峰之前要进行

调整基线）。如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。第一