真空常用数据及单位换算 |
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1. 真空区域划分
真空区域 压强范围 托(Torr) 帕(Pa) 低真空 760~10 101325~1333 中真空 10~10-3 1333~1.33×10-1 高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6 超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10 极高真空 <10-12 <10-10 2. 流速与漏率
Pa·l/s mbar·l/s Torr·l/s atm·cm3/s sccm 1Pa·l/s 1 10 7.5 9.87 59.2 1 mbar·l/s 0.1 1 0.75 0.987 5.92 1 Torr·l/s 0.133 1.33 1 1.32 78.9 1 atm·cm3/s 0.101 1.01 0.76 1 60 1 sccm 1.69×10-3 1.69×10-2 1.27×10-2 1.67×10-2 1 3. 抽气速率单位换算表
单位 立方米/秒 (m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小时 立方英尺/分 1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88 1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119 1立方米/小时(1m3/h) 2.78×10-4 0.278 1 0.59 1立方英尺/分(1cft/min) 4.72×10-4 0.47 1.69 1 4. 常用压强单位换算表
帕 Pa 托 Torr 微米汞柱 μmHg 微巴 μbar 毫巴 mbar 大气压 atm 工程大气压 am 英寸汞柱 inHg 磅/英寸2 lb/in2 1 Pa 1 7.5 ×10-3 7.5 10 10-2 9.86923 ×10-6 1.0197 ×105 2.953 ×10-4 1.450 ×10-4 1 Torr 133.32 1 103 1333.2 1.3332 1.31579 ×10-3 1.3595 ×10-3 3.937 ×10-2 1.934 ×10-2 1 μmHg 0.13332 10-3 1 1.3332 1.3332 ×10-3 1.31579 ×10-6 1.3595 ×10-6 3.937 ×10-5 1.934 ×10-5 1 μbar 10-1 7.5 ×10-4 7.5 ×10-1 1 10-3 9.86923 ×10-7 1.0197 ×10-6 2.953 ×10-5 1.450 ×10-5 1 mbar 102 7.5 ×10-1 7.5 ×102 103 1 9.86923 ×10-4 1.0197 ×10-3 2.953 ×10-2 1.450 ×10-2 1 atm 101325 760 760×103 1013.25 ×103 1013.25 1 1.0333 29.921 14.696 1 am 98066.3 735.56 735.56 ×103 980663 980663 ×10-3 0.967839 1 28.959 14.223 1 inHg 3386 25.4 25.4×103 3.386×104 33.86 3.342 ×10-2 3.453 ×10-2 1 4.912 ×10-1 1 lb/in2 6895 51.715 51.715 ×103 6.895×104 68.95 6.805 ×10-2 7.031 ×10-2 2.086 1 5. 20℃空气在不同压强下的分子平均自由程
P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9 λ(厘米) 4.72×10-3 4.72 47.2 472 4720 4.72×106 6. 不同压强下空气分子密度
P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9 n0(个/厘米3) 4×1016 4×1013 4×1012 4×1011 4×1010 4×107 7. 各种橡胶特性表
橡胶种类 天然橡胶 丁基橡胶 丁腈橡胶 氟橡胶 特性1 耐水性,耐酸性,耐碱性良好 渗透率小 耐油良好 23型耐强酸 特性2 出气量较大 升华严重 弹性较好 26型渗透率低出气率小 真空范围 1×10-5托 10-7托 10-8托 10-8托 温度 -30~80℃ -30~150℃ -30~120℃ -20~200℃ 8. 真空泵的种类及其工作范围
真空泵 工作范围(托) 真空泵 工作范围(托) 旋片真空泵 760~5×10-4 往复真空泵 760~10-2 滑阀真空泵 760~5×10-3 吸附泵 760~10-4 油增压泵 10-1~10-4 溅射离子泵 10-4~10-10 罗茨真空泵 10-1~10-4 钛升华泵 10-3~10-10 油扩散泵 10-3~5×10-7 分子泵 10-3~10-10 水环真空泵 760~25 低温泵 10-3~10-10 |
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