OPUS3 全自动探针台 |
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产品特点 ● 一体化设计的高精度运动平台,保证芯片稳定精准 ● 测试载台采用平面支撑,提升载台的绝对钢性 ● 可满足多探针测试,可用于多芯同时探测,提升产能效益 ● 高精密光学模组,结合最新图像软件算法,实现探针自动精确定位,安全可靠全自动测试 ● 可对接市面上的主流测试机进行Docking测试 ● CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷 ● 支持大电流测试,高低温测试,WAT测试,高压测试,高温测试,坏点重测
应用领域 支持数字混合/SOC、汽车电子/电源产品、CIS/MEMS等类型芯片测试,可适用于8英寸、12英寸的晶圆测试。 主要产品功能与特点 功能 优势 效益 具有快速PMI检测功能 大可视范围可容纳多个PMI功能执行 针测结果自动化判断,节省人力时间 专利Z型平台结构 提供优异检测力 减少针测偏移 相机扫描晶舟盒内芯片位置 当错误发生时,机台警报设备会自动储存影像,方便工程师分析数值排除错误 利用实际影像的像素差异数值,可以计算芯片位置的偏差量,提供好的薄或翘曲晶圆取片方案 高精度定位与载台移动快速 提供高效率与一致性的针测结果 减少重测时间与人员判断次数 密实的结构设计 空间小,节省占地空间 增加生产效率 兼容于他厂针测机设定文件格式 易于测试平台转换与可脱机编辑针测程序 节省时间与利用率最大化
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