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一、已开放的服务项目

（1）TOF-SIMS 常规分析。

（2）FIB-TOF-SIMS分析。

（3）数据分析（包括谱图处理，二维成像，3D分析等）。

二、样品要求

（1）样品必须适用于真空环境，应当为固体或粉末，不能分析液体或气体，本仪器不允许分析有毒、有害、有腐蚀性及放射性样品，磁性样品送样前需要提前告知。

（2）样品尺寸：长宽介于1~1.5cm之间，厚度小于0.5cm的薄片状样品。

三、主要规格及技术指标

1.质谱模式（高质量分辨率模式）：

1.1 质量分辨率：>17000(@29u); >26000(>200u) （FWHM）

1.2 质量范围：>12000u

1.3 空间分辨率： 8.0e8 Al+/nC @ 7000 (FWHM)

1.6 信噪比：> 2.0e5 (I(28Si+)/I(28.5u))

2. 成像模式（高空间分辨率模式）：

2.1 最小束斑直径（极限空间分辨率）：~50nm

2.2 质量分辨率：> 9000 (FWHM) @ m > 50 u

3. 一次离子源（LMIG）

3.1 最大脉冲频率：50kHz

3.2 最小脉冲宽度：0.7ns

3.3 最大能量：30keV

4. FIB(Ga)

4.1 离子束电压：15~30kV

4.2 最小束斑直径：~60nm

4.3 最大束流：~25nA

4.4 束流密度：> 20 nA @ 500nm spot size

四、主要功能及特色

广泛应用于无机、有机及生物样品表面的成分分析：

①在超高真空下得到样品表层的真实信息；

②可分析包括氢、氦在内的全部元素；

③可检测同位素，用于同位素分析或利用同位素提供的信息；

④能分析化合物，通过分子离子峰得到准确的分子量；通过碎片离子峰确定分子结构；特别是可检测不易挥发且热不稳定的有机大分子；

⑤可在一定程度上得到晶体结构信息；

⑥通过扫描一次束或直接成像实现微区面成分分析；

⑦通过逐层剥离实现各成分的深度剖析（depth profiling），可完成三维微区成分分析。

五、主要附件及配置

1. 一次离子源：

1.1最新一代的液态金属离子枪（LMIG）——BiMn 团簇离子枪Nanoprobe 50；

1.2电子束轰击气体离子源(O源或Ar源);

1.3热离化 Cs 离子源;

1.4氩团簇离子源（GCS）

2. 聚焦离子双束（FIB）：（Ga 离子）聚焦离子束刻蚀离子源，可提供完整的 FIB 铣削和 FIB 断层扫描功能。

3. 串联质谱（ToF MS-MS）：安装在 TOF 分析器上的简配二级 TOF 质谱分析模块。可以精确地将一级质谱的单独分子峰转移并用高能量击碎，而后将碎片送入线性 TOF 分析器并获得二级质谱。

4. 变温样品台：一个全温控电阻加热和液氮（LN2）冷却系统，可在快速进样室内进行样品加热和冷却。-150℃~600℃