原标题：谈谈SEM/EDS分析技术的应用及局限性

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SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

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谈谈SEM/EDS分析技术的应用及局限性

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。因此在方法选择的时候SEM/EDS很多时候都是首选的考虑，这就出现了一些比较笼统的问题，如SEM/EDS能测试这个材料吗，能测试那种产品吗，而且测试结果出来后出现很多不能满足要求的情况。究其原因就是对这种分析方法的特性了解不够，预期与方法特性不相适用。本文对SEM/EDS分析方法的适用性和局限性进行说明，供大家在方法选择的时候参考，避免陷入方法误区。

SEM/EDS分析方法的适用性主要从SEM/EDS方法可以用来做什么，能解决什么问题来进行阐述的。SEM/EDS主要可以用于以下几大类的分析：

1.微观形貌观察及尺寸测量，如断口显微形貌观察，电子产品内部结构观察，表面形貌观察，镀层厚度测量，锡须长度测量等

2.材料微观结构观察，如金属材料的晶粒及晶界分析，铸铁材料石墨形态分析、钢铁材料的金相观察，纳米材料分析等

3.微区成分分析，利用电子束与物质作用时产生的特征X射线，表征材料元素方面的信息，可定性、半定量Be-U的元素

4.定位测试点，如在失效分析中可以用来定位失效点，在异物分析中可以用来定位异物点

从以上应用来看SEM/EDS用途非常广，从中也可以看出此方法的一些局限性，本文也从以下几个方面对SEM/EDS分析技术的局限性或者方法的选择性进行说明：

1.关于样品形态，SEM/EDS不能进行液体样品的测试，粉末样品需要粘紧或者压实后进行测试，对于一些有机材料由于导电性不够还需要喷金或者是喷碳之后再进行测试

2.关于成分分析，需要注意两点，一是此方法进行的是元素成分分析，不是化合物成分分析，测试元素范围Be-U，不适合元素周期表前的轻元素及低含量元素的分析，另一点是由于没有工作曲线且微区不均匀，元素定量不准，通常被称作定性半定量的方法

3.有些元素的主能量特征峰重合，导致元素的定性出现差错，需要通过次能量特征峰甚至是其他的手段来进行确认。如触点材料中的Ag与Cd，Cd非常难确认，通常采用XRF来辅助确认

由上可见SEM/EDS分析技术应用非常广泛，但是在实际方法选择的时候不能一把抓，需要结合分析目的及分析技术的适用性和局限性，这样才能让分析技术的优势最大化。

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