D07 |
您所在的位置:网站首页 › d07质量流量控制器 › D07 |
商品简介 D07-9E型 质量流量控制器 ★大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★分流器不易堵塞 ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 详细参数 标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………+15V,50mA;-15V,400mA 输入设定电压…………0~+5.00V 输出电压检测…………0~+5.00V 产品技术指标 满量程流量范围(N2) 20~250SLM 控制范围 2~100%F.S. 阀类型(阀初始状态) 电磁调节阀(常闭) 准确度 ±2%F.S. 线性 ±0.5~2%F.S. 重复精度 ±0.2%F.S. 响应时间 ≤4sec 工作温度范围 5~45℃ 工作压差 ≤30SLM 0.05~0.3MPa 50~150SLM 0.1~0.3MPa 200~250SLM 0.15~0.3MPa 耐压 3MPa 漏气率 1×10-8atm.cc/sec He 通道湿材料 316L不锈钢、密封材料 静密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) 动密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) 接头选择 VCR 1/2” Swagelok φ8、φ6、φ10、1/2”、1/4”、3/8” 重量 2.6kg
|
今日新闻 |
推荐新闻 |
CopyRight 2018-2019 办公设备维修网 版权所有 豫ICP备15022753号-3 |