质量流量控制器 |
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优势 • 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。 • CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。 • CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。 • CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。 • 产品支持RS485，DeviceNet，Profibus以及EtherCAT通讯方式。 • 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。 技术参数 CS200 类型 CS200-A CS200-C CS200-D CS210-A CS210-D 阀类型 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 无 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 无 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 无 常开(流量规格≤30SLM) 无 常开 或常闭 无 或常闭 或常闭 或常闭 或常闭 或常闭 流量规格(N2) (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM 准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 线性 ±0.5% F.S. 重复精度 ±0.2% F.S. 响应时间 ≤ 1sec ≤ 0.8sec 1sec ≤ 0.8sec 工作压差范围 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM ＜0.02 MPa 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM ＜0.02 MPa 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM ＜0.02 MPa 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM ＜0.02 MPa 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM ＜0.02 MPa 最大工作压力 0.45MPa 温度系数 零点： ≤±0.05% F.S./℃； 零点： ≤±0.02% F.S./℃； 零点: ≤±0.05% F.S./℃； 零点: ≤±0.02% F.S./℃； 调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时： ≤±0.05% F.S./℃ 调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.05% F.S./℃ 调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM 耐压强度 3MPa 漏率 1×10-10Pa·m3/ sec He 1×10-11Pa·m3/ sec He 1×10-10Pa·m3 / sec He 1×10-11Pa·m3 / sec He 密封材料 氟橡胶 金属密封 氟橡胶 金属密封 工作环境温度 （5～45）℃ （0～50）℃ （5～45）℃ （0～50）℃ 输入信号 数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA 无 数字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA 无 数字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA 无 数字: RS485 或EtherCAT 无 数字: RS485 或EtherCAT 无 输出信号 数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT 数字:RS485或 EtherCAT 数字:RS485或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA 电源 ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) +14 ～ +28 VDC (单极) +20.4 ～ +26.4 VDC 表面化学成分 常态 Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） 常态 常态 常态 表面粗糙度 25 Ra 10 Ra 25 Ra 25 Ra 25 Ra 标准接头形式 双卡套 φ6； 双卡套 1/4´´； 双卡套 3/8´´； VCR1/4´´阳接头； 双卡套φ3； 双卡套φ3； 双卡套φ6； 双卡套 1/4； VCR1/4 阳接头； 双卡套 φ6； 双卡套1/4´´； 双卡套3/8´´； VCR1/4´´阳接头； 双卡套φ3； 双卡套φ3； 双卡套φ6； 双卡套1/4； VCR1/4阳接头 双卡套 1/8´´； VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头； 1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头； 双卡套1/8´´； VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头; φ5(内)x1.5软管接头; 1.5´´C型密封接头;1.5´´ W型密封接头 φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm； A 型密封接头; φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm； A型密封接头; 电源接头形式 D 型 9 针阳接头； D 型 15 针阳接头； DeviceNet 接头； ProfiBus 接头； 模拟接头； EtherCAT 接头 D型9针阳接头； EtherCAT接头 重量 1 Kg 0.8Kg 1.2Kg 1Kg 1.2Kg 1Kg 1 Kg 0.8Kg 1.2 Kg 1Kg
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