关于RDL和RV的疑问

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关于RDL和RV的疑问

2024-02-24 07:06| 来源: 网络整理| 查看: 265

回复 4# 我要改名字啦啦

都是缩写惹的祸,各家工艺厂叫各家的名字,让我们使用者混乱。

交流时,我们要尽可能地少用缩写。

只要搞清楚真正的工艺流程,就能拨云见日,不惧那些乱七八糟的绰号。

这里需要复习一下半导体工艺中的金属化部分,它会讲怎么做接触孔,然后是第一次金属,金属间的通孔,第二次金属,最顶层金属,最后覆盖钝化层passivation用作保护,所以也叫保护层;要是把芯片全包裹住了,我们还怎么用它呢?所以要开个口子,通过打线封装把芯片内部和外部连接起来。

你会发现这个过程只有一层钝化层,教材为了讲解基本原理,讲到这儿就足够了。

但是对于先进封装,芯片的PAD端口可能需要重新分布,这时候就需要RDL登场了——增加一层金属线和一层钝化层,实现PAD的重新排列。(可以用“封装 rdl”为关键词进行百度,了解更多)

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2018-12-17 17:37 上传

图片来自网络,侵删。

RDL的工艺过程和一般的金属层是类似的。

整个过程,核心是 金属、通孔和PAD;以下我们就抓住这三个核心来理解一下那几个缩写:

(1)金属:顶层金属:MT-Metal Top,TM-Top Metal,thick metal,thick topmetal, fat metal……

                   RDL:第一层钝化层上的金属,AP-ALPA-AL PAD-暴露了AL的钝化层开口

(2)通孔:Via1,via2… V1,V2,ViaTop,VL-via last,VT-Via Top,RV-RDL Via,VRDL-Via RDL……

(3)PAD:PA,PD,CB-(忘记这个全称是啥了,这个简写好像挺常见的),PR(passivationremove),钝化层开口,钝化层开窗,passivation opening,保护层开口……

这些缩写,一般从工艺文档中是能读的出来的,除非它他们的文档写得太差,唉,确实有的文档会让人看得发狂的,啊呸!

工艺流程,在看过了教材上的基本工艺流程后,也主要是通过阅读工艺文档来学习的。

祝你好运。



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