– 操作温度：5~50°C（60°C） – 最大操作压力：5公斤/厘米² – 设定压力范围：0.2~3公斤/厘米²

– 化学供应系统使用点 – 控制湿法蚀刻设备的进口压力 – 控制湿法蚀刻设备所使用的详细流量的压力 – 控制化学泵管线的压力 – 化学供应系统使用点 – 湿法蚀刻设备进口压力控制 – 湿法蚀刻设备详细流量压力控制 – 化学泵管线压力控制

– 接触液体部件可提供聚四氟乙烯（PTFE）或聚氯乙烯（PVC）材质 – 控制化学或水处理管线的压力 – 套筒插入管连接，PT女性连接 – 宽调压范围 0.2~3公斤/厘米² – 最大操作压力 5公斤/厘米² – 使用去离子水超声波清洗和真空包装

该调压器控制了化学和去离子水设备的使用点压力。FRM系列可以控制宽范围的压力，并且PTFE接触液体部件采用了无颗粒结构。