一文了解透明导电薄膜材料ITO

您所在的位置:网站首页 Sn掺杂ZnO磁控溅射 一文了解透明导电薄膜材料ITO

一文了解透明导电薄膜材料ITO

2024-05-30 07:25| 来源: 网络整理| 查看: 265

中国半导体照明网

【中国半导体照明网专稿】透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)是一种在可见光光谱范围(380nm化学气相沉积,高质量的沉积技术包括:磁控溅射法、电子束蒸发法和脉冲激光沉积法。

ITO技术的发展必须同时注重基础科学研究和工业产业化,随着我国液晶显示和半导体器件的快速发展,ITO应用激增。摆在我们面前的任务是加快ITO技术的公关步伐,强化产业队伍,严格制定并遵循行业质量标准,在一系列政策的的辅助下,加快ITO从靶材到设备再到ITO玻璃的国产化过程,使我国在透明导电领域立于不败之地。

参考文献:

[1] Badeker K. 1907. Concerning the electricity conductibility and the thermoelectric energy of several heavy metal bonds[J]. Ann Phys-Berlin, 22(4): 749-766.

[2] 王敏, 蒙继龙. 2003. 透明导电氧化物薄膜的研究进展[J]. 表面技术, 32(1): 527.

[3] Bashar S A, 1988, Study of indium tin oxide (ITO) for novel optoelectronic devices[M], London: University of London.

[4] Meng L J and dosSantos M P. 1996. Structure effect on electrical properties of ITO films prepared by RF reactive magnetron sputtering[J]. Thin Solid Films, 289(1-2): 65-69.

[5] Balestrieri M, Pysch D, Becker J P, et al. 2011. Characterization and optimization of indium tin oxide films for heterojunction solar cells[J]. Sol Energ Mat Sol C, 95(8): 2390-2399.

[6] Cui H N, Teixeira V and Monteiro A. 2002. Microstructure study of indium tin oxide thin films by optical methods[J]. Vacuum, 67(3-4): 589-594.

[7] 马勇, 孔春阳. 2002. ITO薄膜的光学和电学性质及其应用[J]. 重庆大学学报(自然科学版), 25: 114-117.

[8] Hamberg I and Granqvist C G. 1986. Evaporated Sn-Doped In2o3 Films - Basic Optical-Properties and Applications to Energy-Efficient Windows[J]. J Appl Phys, 60(11): R123-R159.

[9] 陈猛, 白雪冬, 裴志亮等. 1999. In_2O_3:Sn(ITO)薄膜的光学特性研究[J]. 金属学报: 934-938.

 



【本文地址】


今日新闻


推荐新闻


CopyRight 2018-2019 办公设备维修网 版权所有 豫ICP备15022753号-3