2.线扫描分析

电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌对照分析，能直观地获得元素再不同相或区域内的分布。

3.面分布

电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌对照分析。

小结：1.点、线、面分析方法用途不同，检测灵敏度也不同；

2.定点分析灵敏度最高，面扫描分析灵敏度最低，但观察元素分布最直观。

3.实际操作中要根据试样特点及分析目的合理选择分析方法。

定量分析对试样的要求：

1.样品在真空和电子束轰击下要稳定；

2.高准确度的分析时，要求试样分析面平、垂直于入射电子束；

3.试样尺寸大于X射线扩展范围；

4.有良好的导电和导热性能；

5.均质、无污染。

EDS能谱仪常见测试问题及解决方法：

1. EDS测试的时候经常测到有碳（C），氧（O）或者是其他一些样品原本没有的元素，这是什么情况？

样品在存在，制样，转运的过程中和空气接触，样品表面会随机吸附空气中的一些低沸点VOC，包括烷烃类，芳烃类，烯烃类，卤烃类，酯类，醛类和酮类等物质，当吸附量达到EDS检测下限时候，就会被探测器检测到。我们最常见到的便是碳氧元素。

如果测到一些样品不该含有的金属元素，比如铝（Al），铜（Cu）等，我们就要考虑是否来自于测试的载具，有时候可能会由于样品太薄了，测试时候检测到了基底的元素。

如果测到一些稀土元素，比如镧(La），锕（Ac），则有可能是因为噪音的峰太强了，仪器出现一些误判，这种情况直接把此类元素删除即可。

如果测试含硫（S）的物质，出现钼（Mo），测试含铟（In）的物质，出现钾（K），测试含溴（Br）的物质，出现铝（Al）。此时我们要考虑是否是遇到了重叠峰的现象。这种情况是因为某些元素的某些线系临街激发能相差太小了，导致结果出现误判。下图是铄思百小编整理的常见元素重叠峰。解决方法是增加大加速电压（该元素临界激发能的2-3倍），激发某些元素在其他线系的能谱峰：如Al（K1.49）和Br（L1.48）接近，可以增大电压至30kV，通过Br（K11.9）的能谱峰判定是否有Br。

2. EDS采集能谱时，有时候会遇到能谱出峰很慢或无法出峰的情况，是什么原因导致的？

EDS采集能谱时，会遇到能谱出峰很慢或无法出峰的情况，原因可能是：

a.死时间过长。输入计数率会直接影响死时间的大小，计数率越高，死时间越高。

b.输入计数率过低。

一般可以采用以下解决方案：

a.工作距离：每台能谱仪都有特定的最佳工作距离，在不正确的工作距离下，计数率会比较低。

b.加速电压：应选择合适的加速电压，加速电压越低，获得的X射线的信号也就越少。

c.光阑的选择：大孔径光阑可以获得更多信号。

d.电子枪调整的情况：电子枪的对中、灯丝调整都会对信号产生影响。

e.样品状况：测试点前方较高阻挡了信号。

备注：

EDS在测试轻元素（C、O、N等）时，由于这些元素的能量较低，有时很难检测到，可以通过增加采集时间、降低加速电压（元素临界激发能2~3倍）并使用大孔径光阑。

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