原标题：扫描电镜edx能谱图怎么看

EDS，是英文Energy Dispersive Spectrometer的简称，中文为X射线能谱分析。

开始的时候能谱的缩写有很多，比如EDS，EDX，EDAX等，大家对此也都心照不宣，知道ED就是Energy Dispersive，后面因为X-ray Analysis和Spectrum这几个词的不同用法，导致了缩写的不同。而且相应的汉译也有很多，比如能量色散谱，能量散射谱等等。不过，到了2004年左右，相关协会规定，EDS就是能谱或者能谱仪，EDX就是能谱学，Dispersive就不去翻译。

这样EDS就应该是文章里的正规用法，而现在有很多文章仍然使用其他说法，有约定俗成的味道，大家知道怎么回事就行了。

EDS现在已经是扫描电镜SEM的标配之一，主要用来分析试样的元素成分和含量，也就是常规说的定性和半定量分析。实际使用中因电镜设备不同及相关处理软件的差异，可以确定样品中的大部分元素，只在分析的元素含量上会有差异。

EDX能谱分析:X射线如何工作

与BSE，SE和TE不同，X射线是电磁辐射，就像光一样，由光子组成。为了检测它们，最新的系统使用了硅漂移探测器(SDD)。由于其具有更高的计数率、更好的分辨率和更快的分析能力，都优于传统的Si(Li)探测器。这些探测器被置于一个特定角度，非常接近样品，并且有能力测量X射线的光子能量。探测器与样品之间的立体角越高，X射线检测概率越高，因此获得最佳结果的可能性也越大。

图3∶典型的EDX光谱

EDX光谱： y轴描述X射线数量，x轴是X射线的能量。峰的位置是对元素的识别，峰高有助于对样品中各元素浓度的量化

由EDX分析产生的数据包含了样品中所有不同元素对应的峰值的光谱。在图3中可以看到，每一个元素都有独特能量的特征峰。

此外，EDX可以用于定性(元素的类型)以及定量（样本中每个元素的浓度百分比)的分析。在大多数SEM中，专用软件可以自动识别峰值，并计算检测到的每个元素的原子百分比。EDX技术的另一个优点是，它是一种非破坏性的表征技术，需要很少或不需要样品的制备。

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