TERS 增强依赖于很多因素：针尖尺寸、针尖形状以及针尖的材料。当衬底也是贵金属 (金) 时，可以获得更高的增强，通常称为“gap mode”。这种工作模式下，首先有一个样品准备步骤，将待探测的纳米物种用旋涂或浸涂方法转移到金的表面，然后进行测量。典型的金衬底的制作方法是：在玻璃基底上首先粘附一层铬，然后沉积一层厚度几百纳米的金薄膜，再经过火焰退火重构金表面的形貌，获得总面积在微米量级，原子级别平整度的金颗粒。

如果样品适合这样的制样过程，就能够在 “gap mode” 条件下获得更大的增强效果。但是在某些应用领域可能不适合这种转移，例如要进行原位分析，或者别的特殊原因样品需要放在其它基底、如玻璃、云母、硅、氧化硅等材料上进行，那么其它常用的表面平滑的材料也都可以用作基于 AFM 或剪切力/正交力显微镜模式的 TERS 系统的衬底，这就是所谓的 “non gap mode”。

衬底的选择也由TERS测试的仪器决定。在基于 STM 的 TERS 系统中，由于要探测在针尖和样品表面之间的隧道效应电流，理想的衬底是金属单晶或者金属涂覆表面。

此外，若采用底部照明和底部探测，衬底必须是透明的。但是考虑到金或者银的单晶可以做的很薄以近乎透明，所以也并不是一个严格的限制。